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碳化硅装备

关键词：

产品

连续加料直拉单晶炉 CCz

<strong>主要技术指标</strong><br> 1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;<br> 2、主腔室内径1400mm，副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场，可拉制10英寸以下直径的晶体;<br> 3、加热方式:电阻加热，DC电源Pmax=150:50Kw，频率50Hz;

关键词：

数控滚磨机 LQ003PF

<strong>主要技术指标</strong><br> 1、加工晶棒直径:4~8英寸<br> 2、加工晶棒长度:≤400mm<br> 3、椭圆度:≤0.05mm

关键词：

数控平面磨床 LQ016/LQ018

<strong>设备优势</strong><br> 主要部件均采用知名品牌,稳定性高,耐用性强。<br> 采用精度P3级滚珠丝杆传动,精度高。<br> 铸件采用高等级灰口铸铁,具有更好的抗弯及抗扭应力。<br> 可选配三级过滤水箱或纸带式过滤器,保持切削液清洁，提高加工性能及刀具寿命,减少环境污染。<br> 硬轨全人工刮研,导轨贴合面采用贴塑处理,降低阻尼系数,提高机床精度。<br> 可选配常规、密集型以及一体式电磁吸盘,通用性强。

关键词：

碳化硅感应生长炉

<strong>设计优点</strong><br> 1、满足6吋/8吋晶体生长;<br> 2、一键智能启动，减少人工干预，利于规模化生产;<br> 3、PVT-MF-50型碳化硅感应式长晶炉适用于生长高质量六吋碳化硅单晶、高纯度碳化硅原料合成、晶体退火等领域。<br>

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